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“中國芯”關(guān)鍵材料國產(chǎn)化

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光刻膠及配套材料

193nm ArF光刻膠

193nm ArF光刻膠

量產(chǎn)籌備中敬請期待
· 193nm ArF光刻膠已通過存儲、邏輯兩家芯片制造企業(yè)驗證，成為國內(nèi)首個通過驗證的ArF光刻膠產(chǎn)品
· 2021年建黨100周年前夕，順利通過國家“02-專項”驗收

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