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產(chǎn)品中心
“中國芯”關(guān)鍵材料國產(chǎn)化
- 中文名:三甲硅烷基胺
- 英文名:Trisilylamine
- CAS號:13862-16-3
- 用途:通過流動化學(xué)氣相沉積(FCVD)形成氧化硅
- 純度指標(biāo):99.65%
- 規(guī)格:公斤級
- 中文名: 二異丙氨基硅烷
- 英文名:Diisopropylaminosilane
- CAS號:908831-34-5
- 用途:形成晶種
- 純度指標(biāo):8N
- 規(guī)格:公斤級
- 中文名:三乙硅烷基胺
- 英文名:Trisdisilanylamine
- CAS號:14635-45-1
- 純度:≥98.0%
- 用途:通過化學(xué)氣相沉積(CVD)或原子層沉積(ALD)形成含硅薄膜
- 規(guī)格:公斤級
- 中文名:1,1,1-三(二甲氨基)乙硅烷
- 英文名:1,1,1-Tris(dimethylamino)disilane
- CAS號:2273763-87-2
- 純度:≥99.0%
- 用途:通過等離子體加強(qiáng)原子層沉積(PEALD)形成高密度氧化硅
- 規(guī)格:公斤級
- 中文名:二異丙氨基乙硅烷
- 英文名:Diisopropylaminodisilane
- CAS號:151625-25-1
- 純度:≥99.0%
- 用途:通過氣相沉積形成晶種層
- 規(guī)格:公斤級
1,1-二氯-1-二異丙氨基乙硅烷 (DCDADS)
- 中文名:1,1-二氯-1-二異丙氨基乙硅烷
- 英文名:1,1-Dichloro-1-diisopropylaminodisilane
- CAS號:2152681-89-3
- 純度:≥99.0%
- 用途:通過等離子體加強(qiáng)原子層沉積(PEALD)形成氮化硅
- 規(guī)格:公斤級
- 中文名:五氯乙硅烷
- 英文名:Pentachlorodisilane
- CAS號:31411-98-0
- 純度:≥99.0%
- 用途:通過等離子體加強(qiáng)原子層沉積(PEALD)形成氮化硅
- 規(guī)格:公斤級
- 中文名:1,1,1-三氯乙硅烷
- 英文名:1,1,1-Trichlorodisilane
- CAS號:78228-96-3
- 純度:≥99.0%
- 用途:通過等離子體加強(qiáng)原子層沉積(PEALD)形成氮化硅
- 規(guī)格:公斤級
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